适用产品对象：IGBT、FRD、高压大电流测试、太阳能电池测试、二极管晶体管测试、背电极测试；
IGBT测试探针台
探针台体
规格 |
8"chuck；镀金；加装背电极，做双面测试； |
龙门架结构；X-Y行程：8"-8"，精度：1um；Z轴行程4mm； |
尺寸：660mm(W) X700mm (H)X 660mm (D)； |
重量：60KG； |
测试系统
探针座：精度2um，X-Y-Z行程12MM，带磁力开关； |
SHV高压夹具：漏电精度低于1pA；大电流10A,高压2kv（不能同时达到）；2.1m线缆接头与仪器配备； |
SHV高压大电流探针：电流范围0-50A；电压范围0-2kV； |
显微镜：三目体式显微镜、倍率：16-200X; |
附件：
屏蔽箱、阻尼抗震支架、面包板、真空泵