特点

类型

规格

*结构设计合理，经济实用；

*探针操作灵敏，直线度高；

*加热均匀，准确度高；

*低噪声，直流电驱动

*隔绝水循环保护chuck底座
*可以在绝大多数探针台上加装

chuck（卡盘）

      尺寸：4英寸，圆形（方形可选）

      材质：铝

      旋转角度：0-360°可带角度锁定，精度0.1°

      X-Y移动行程：4" x4"，移动精度：10um（可升级为1um精度）

      显微镜总体放大倍率：200X

温控器

      控温范围 ：常温到300摄氏度

      控温精度 ：0.1℃

      温度稳定度： +- 1%

     4英寸卡盘从25 ℃开始升温时间: 100 ℃/1:00 150 ℃/ 2:3      0 200 ℃/ 3:00 300 ℃/4:30

     尺寸： 350mm长 x 300mm宽 x 150mm高

     重量：15KG

附件：

高温配件，可以升温至300 ℃, 400 ℃, 500 ℃, 600 ℃, 700 ℃

低温配件，可以冷却至5 ℃, -50 ℃, -65 ℃, 或者低温至-196 ℃